高精度雙軸電子光電自準直儀測量直線度與被測導軌形的變診斷方法
精準解讀自準直儀X/Y軸測量數(shù)據(jù)，掌握被測導軌彎曲方向判斷與調(diào)整方法
上海弘測儀器科技有限公司|HONC 版權(quán)所有，禁止轉(zhuǎn)載
Shanghai HONC Instrument Technology Co., Ltd.
操作人員站在自準直儀的尾部，看向被測導軌的遠端
自準直儀的出射光沿著被測導軌發(fā)射，平行于被測導軌發(fā)射向遠端
軟件采集被測導軌上每個位置的角度值后，計算整條導軌的直線度
自準直儀安裝在專用三腳架上，或安裝在被測導軌的首端（近端）
反射鏡自被測導軌首端（自準直儀物鏡口處）向被測導軌尾端運動
代表被測導軌向右側(cè)凸出，需要調(diào)整左側(cè)支撐或向右施加矯正力
代表被測導軌向左側(cè)凸出，需要調(diào)整右側(cè)支撐或向左施加矯正力
代表被測導軌向上凸出（兩側(cè)低、中間高），需降低中間支撐或增加兩端支撐
代表被測導軌向下凹出（兩側(cè)高、中間低），需增加中間支撐或減少兩端支撐
當X軸和Y軸同時存在誤差時，導軌會呈現(xiàn)復合彎曲狀態(tài)：
| X軸誤差 | Y軸誤差 | 導軌彎曲狀態(tài) | 3D示意圖 |
|---|---|---|---|
| 正值 ( + ) | 正值 ( + ) | 向右上方彎曲 | |
| 正值 ( + ) | 負值 ( - ) | 向右下方彎曲 | |
| 負值 ( - ) | 正值 ( + ) | 向左上方彎曲 | |
| 負值 ( - ) | 負值 ( - ) | 向左下方彎曲 |
調(diào)整左側(cè)支撐或向右施加矯正力
調(diào)整右側(cè)支撐或向左施加矯正力
降低中間支撐或增加兩端支撐
增加中間支撐或減少兩端支撐
| 測量軸 | 誤差符號 | 彎曲方向 | 典型值 |
|---|---|---|---|
| X軸（水平） | + | 向右凸出 | +2.15μm |
| - | 向左凸出 | -1.62μm | |
| Y軸（垂直） | + | 向上凸出 | +2.15μm |
| - | 向下凹出 | -1.62μm |
1.1、操作人員站在自準直儀的尾部，看向被測導軌的遠端；
1.2、自準直儀安裝在專用三腳架上，或安裝在被測導軌的首端（近端）；
1.3、自準直儀的出射光沿著被測導軌發(fā)射，平行于被測導軌發(fā)射向遠端；
1.4、反射鏡自被測導軌首端（自準直儀物鏡口處）向被測導軌尾端運動；
1.5、軟件采集每個位置的角度值后，計算整條導軌的直線度。
2.1、在直線度計算結(jié)果中，X軸的負值（如：-1.62um），代表的是被測導軌向左側(cè)凸出；
2.2、在直線度計算結(jié)果中，X軸的正值（如：+2.15um），代表的是被測導軌向右側(cè)凸出；
3.1、在直線度計算結(jié)果中，Y軸的負值（如：-1.6um），代表的是被測導軌向下凹出（即兩側(cè)高、中間低）；
3.2、在直線度計算結(jié)果中，Y軸的正值（如：+2.1um），代表的是被測導軌向上凸出（即兩側(cè)低、中間高）；